为了追赶台积电，很显然三星也在努力的采购ASML的最新一代光刻机，而花费也是巨大的。 据韩国媒体报道称，三星电子和ASML就引进今年生产的EUV光刻机和明年推出高数值孔径极紫外光High-NA EUV光刻机达成采购协议。